高真空电阻蒸发镀膜

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申购单主题:高真空电阻蒸发镀膜
申购具体单位：（略）
申购单位：（略）
申购备注:中标商必须开具增值税专用发票
商品名称：（略）
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品牌:不指定品牌
数量:1.0
规格:1.蒸镀腔体：SUS304不锈钢，L×W×H：400×400×500mm（净尺寸）；真空室内表面及防污板等抛光至镜面；结构：方形，前后开门；顶部装配基片台、基片台挡板、膜厚仪探头、真空照明；底部装配蒸发源；（略）位置。2.（略）：复合分子泵+直联旋片泵，超高真空气动插板阀；“两低一高”数显复合真空计，型号：ZDF-5227B，测量范围：1×105～1×10-5Pa；3.真空极限：优于2.5×10-5Pa（1.9×10-7Torr）；抽速：分子泵完全启动，抽至3.0×10-4Pa≤15min；分子泵：型号FF-200/1200，进气口法兰CF200，抽气速率：1200L/s；机械泵：型号TRP-36，进气口法兰KF40，抽气速率：9L/s；高真空测量规管采用贵金属氧化物阴极，具有抗氧化，耐瞬时大气冲击的特点，性能稳定，寿命长，规管灵敏度：0.15±15%Pa-1。4.基片台：抽屉式结构，基片托尺寸：120×120mm，该范围内可装卡各种规格的样品/基片；样品台配有气动挡板，磁流体密封；样品台旋转：旋转速度0-25转/分连续可调，磁流体密封，光控定位，（略）位置方便取样；样品掩膜：提供一块掩膜板5.蒸发源：安装4组蒸发源；各源均有水冷且独立，可蒸镀金属材料（舟式源/挂丝源）和有机材料（坩埚源/盒式源）6.蒸发电源：1台2.2KW蒸发电源，可采用恒流/恒功率控制，可以预设工作电流；7.膜厚监控：采用Inficon薄膜沉积监控仪（型号：SQM-160）在线监测、控制膜厚，1只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±0.1Ā/s，厚度显示分辨率±0.1Ā；8.（略）：PLC手自动控制，触摸屏操作；9.报警保护缺水报警、真空阀门互锁保护、过流过压保护、防误操作保护等。10.主阀采用超高真空气动插板阀(CCQ-200)；预抽阀、前级阀采用高真空气动挡板阀（GDQ-J40），预抽阀和前级阀智能互锁；放气阀采用电磁截止阀（DJ2C-6），可与手套箱连接；11.备品备件清单：钨舟20个；钼舟20个；有机源坩埚6个；高纯铝颗粒30克；高纯镍颗粒30克；高纯铬颗粒30克；高纯铜颗粒30克；石英晶振片10只；CF35铜垫圈3个；设备上相应规格密封圈1批；内六角工具1套，螺丝1批12.安装需求：需要与手套箱厂家沟通，配合安装于手套箱内。
售后服务:None
报价类型:人民币
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