中国科学院宁波材料技术与工程研究所采购涉海装备部件表面防护等离子体沉积系统项目（重招）国际招标公告（2）

（略）受招标人：（略）
1（略）1套（1）真空室尺寸：≥Ф800mm×1000mm，被镀工件（略）高度范围大于550mm。有效（略）域≥Φ500mm×500mm，范围内薄膜的厚度不均匀性小于10%，为保证工件镀膜过程及薄膜质量的稳定性（结构与性能偏差不超过15%）。（2）溅射靶位及电源：配备6个孪生矩形非平衡磁控溅射靶，采用封闭场设计，工件离子流密度不低于7mA/cm2，配备2套双输出脉冲直流电源（10*10kw）和1套双输出直流电源（6*6kw），可单独控制每个磁控溅射阴极，电流控制精度为0.1A；配备脉冲偏压电源一台。电压控制精度为1V，实现0-750V可调；所用电源均应选用相当于AE公司原厂产品，配备两台射频溅射阴极电源及匹配器，功率1kw可用于陶瓷类等镀层研究。/
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取：（略）