说明:各有关当事人对竞价公告内容有异议的,可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议,逾期将视为无异议,不予受理。
一、基本信息
(略):JJ
(略)834
项目名称:
(略)
项目预算(元):228,000.00报价方式:
(略)
采购单位:
(略)
最少报价家数:3联系电话:
(略)
联系手机:******电子邮箱:
(略)
异议反馈:******
开始时间:
(略):32:00截止时间:
(略):32:00
二、资格条件
资格条件:原厂或者原厂授权。
三、商务要求
付款方式:
(略)
交付时间:签订合同后7天送货。
交付地址:
(略)
质保期及售后要求:产品整机免费保修期不少于1年,需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。承诺设备投入使用后,若仪器发生问题,对相关的技术问题能在24小时内及时进行响应,供方可通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除;若通过电话、传真、邮件等在1个工作日内仍不能解决问题,供方工程师应在其后48小时内赶到需方现场进行检修;若发生现场不能解决的问题,供方可将仪器(或故障部件)带回国内办事处进行处理,处理时间最长不超过15个工作日。质保期内,供方为检修仪器发生的所有费用由供方承担。质保期后,若仪器发生故障,供方可按相关定额标准收取相关服务费及材料费。若需方能将仪器邮寄到供方国内办事处进行修理,供方只收取相应的材料费。
其他要求:无
四、技术要求
(略)标的名称:
(略)
1
(略)1.00台微纳真空/VJC-300Pro是1.真空腔室:净空间尺寸不大于Φ450×H450mm,要求前开门,前门需配备观察窗,观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm,配至少一套方便拆卸的防污隔板;腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304无磁不锈钢材质;2.
(略):主泵分子泵抽速不小于2000m3/h,前级泵抽速不小于30m3/h,全量程数显复合真空计量程:1×105~1×10-5Pa;3.★真空极限:优于2.3×10-7Torr;4.抽速:抽至4.0×10-6Torr≤15min;5.基片台:根据客户要求定制的基片台,最大可处理基片不小于4英寸,基片台配一体式全尺寸挡板,挡板开合需要磁流体密封;基片台旋转:旋转速度0-25转/分连续可调,基片台旋转需要磁流体密封;基片台加热:PID智能温控表,控温范围室温~400°C;6.★溅射靶及电源:不少于2只圆形平面靶,靶面尺寸不小于φ60mm,可调整角度不小于±50°,可单靶轮流/双靶聚焦共溅射;直流电源不少于1台,要求可切换恒压,恒流,恒功率控制模式,电源功率可以预先设置;射频电源1台,频率13.56MHz,要求自动匹配;7.靶挡板:靶上有气动水平打开式挡板,角度与靶倾斜角度同步可调,要求磁流体密封;8.速率和膜厚监控:采用膜厚监控仪在线监控溅射速率和膜厚,1只水冷探头;膜厚仪速率显示分辨率±0.1ā/s,厚度显示分辨率±1ā;9.
(略):
(略)工艺气体MFC控制,量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要;10.
(略):PLC+
(略),
(略)的控制分为手动和自动二种模式,自动模式下,根据腔内压强自动执行相关泵,阀的启闭;可远程监控,软件使用期限:永久有效;11.辅件配置:冷却循环水机1台,制冷量不小于1P;
五、附件
(略)附件名称:
(略)
本页面提供的内容由采购人:
(略)
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