氧化剂还原剂配气系统-XJ024070201705

询价公告询价标题氧化剂/（略）
（略）XJ（略）5
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（略）第七一八研究所
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备注技术要求：1.（略）共三台，适用介质分别为NF3混气、C2H4混气、D2混气；（略）包括自动配气台、混气储罐、（略）、真空泵、（略）、阀件、检测器件等。2.NF3混气和C2H4（略）需要分别适应与He和N2混合，而D2（略）只需满足与He混合。3.一次最大配气量：1780Nm3（NF3混气）、2160Nm3（C2H4混气）、1960Nm3（D2混气）；4.一次配气时间≤35h；5.出口压力20-35MPa可调；6.配气精度≤±2%
物资编码产品名称：（略）
氧化剂/（略）见技术要求见技术要求否1.0套1.0套
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