紫外光刻机

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深圳大学-竞价公告(CB（略）0875)
发布时间：（略）:38:28截止时间：（略）:00:00
基本信息：
申购主题：紫外光刻机
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：（略）
送货时间：签订合同后10天内到货。
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：198,000.0000人民币
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紫外光刻机
1
中国科学院光电技术研究所
URE-2000/35D
1．技术参数曝光面积：4英寸曝光波长：365nm分辨力：0.8mm-1mm对准精度：±1mm掩模样片整体工件台运动范围：X：15mm;Y:15mm掩模尺寸：5英寸,向下兼容样片尺寸：4英寸，向下兼容，支持碎片厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm)曝光方式：（略）
1、验收合格之日起，免费质保1年，终身维护。2、质保期内2小时响应，24小时到达现场维修，质保期外48小时响应，终身维护。3、售后服务7个工作日发现质量问题包换新或者退货。4、原厂技术人员送货上门安装培训，当面验收，拒绝快递。
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