原子层沉积仪

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深圳大学-竞价公告(CB（略）0883)
发布时间：（略）:33:43截止时间：（略）:00:00
基本信息：
申购主题：原子层沉积仪
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
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送货时间：（略）前
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：195,900.0000人民币
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1
原子层沉积仪
1
MNT
MNT-S100-L2
(1)腔体：4英寸基底台；(2)反应模式：“快速沉积模式”、“充分暴露模式”、“掺杂模式”；(3)（略）：高配2路自清洗；载气：高纯氮气/氩气；(4)（略）：Inficon压力传感、真空泵；(5)（略）：PLC控制；(6)配备触摸屏外设。
按行业标准提供服务
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