[HF20241708]MEMS月震计电镀工艺与测试成交公告

1.项目名称：（略）
2.成交供应商名称：（略）
3.成交供应商地址：（略）
4.成交金额(币种)：17.800万元
5.付款方式：（略）
6.主要成交标的：
（略）
服务内容
服务期限
1
MEMS晶圆RCA清洗及缺陷检测合同签订三个月之内
2
MEMS晶圆匀胶曝光显影合同签订三个月之内
3
MEMS晶圆金属种子层镀膜合同签订三个月之内
4
MEMS晶圆电镀金-5um厚合同签订三个月之内
5
MEMS晶圆刻蚀金属图形合同签订三个月之内
6
MEMS晶圆图形光学及电气检测合同签订三个月之内
华中科技大学物理学院
2024年07月09日