等离子体增强化学气相沉积-招标公告

等离子体增强化学气相沉积-招标公告
(（略）：TC24118FN)
招标项目所（略）：四川省（略）
一、招标条件
本等离子体增强化学气相沉积（（略）：TC24118FN），已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为国企自筹，（略）第九研究所。本项目已具备招标条件，现进行公开招标。
二、项目概况和招标范围
项目规模：本设备主要用于在晶圆表面沉积SiNx、SiO2等介质薄膜作为绝缘层、隔离层或保护层，最大支持8英寸晶圆沉积，可向下兼容，应用领域主要为MEMS工艺。系统具备报警、安全互锁等保护功能等。
招标内容与范围：本招标项目划分为标段1个标段，本次招标为其中的：001等离子体增强化学气相沉积
三、投标人资格要求
001等离子体增强化学气相沉积：3.投标人资格要求3.1本次招标要求投标人为独立法人单位：（略）
3.2投标人为企业单位：（略）
计报表至少应包括资产负债表、现金流量表、利润表和财务情况说明书的复印件，缺一不可。成立不足一年的应提供成立以来的财务状况表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位：（略）
3.4信誉要求：投标人未被最高人民法院列入失信被执行人名单，提供信用中国（https://（略）.cn）/（略）(（略）.cn/)查询结果。投标人为科研院所、高等院校等事业单位：（略）
3.5其他要求:（1）本次招标不接受代理商投标。
（2）本次招标不接受联合体投标。
（3）投标人对其提供的文件资料真实性负责。即使投标人提交的文件资料通过了审核，在评标过程中乃至定标后，如发现投标人所提供的文件资料不合法或不真实，则其投标将作为废标处理，并承担相应法律责任。
（4）投标人对响应条款应承担履约责任，若签约后无法履约，将纳入中国电科供应商负面清单，并追究其违约责任。
3.6未在招标代理：（略）
本项目不允许联合体投标。
四、招标文件的获取：（略）
获取：（略）
获取：（略）
五、投标文件的递交
递交截止时间：2024年08月07日09时30分00秒
递交方法：详见七、其他公告内容
六、开标时间及地点：（略）
开标时间：2024年08月07日09时30分00秒
开标地点：（略）
七、其他公告内容招标公告1.招标条件本招标项目等离子体增强化学气相沉积（项目名称：（略）
（略）第九研究所，招标项目资金来自国拨资金
（资金来源）。该项目资金已落实具备招标条件，现对本项目进行国内公开招标。2.项目概况与招标范围2.1（略）：TC24118FN
2.2数量：1台/套2.3主要功能：本设备主要用于在晶圆表面沉积SiNx、SiO2等介质薄膜作为绝缘层、隔离层或保护层，最大支持8英寸晶圆沉积，可向下兼容，应用领域主要为MEMS工艺。系统具备报警、安全互锁等保护功能等。详见第五章供货要求。2.4交货地点：（略）
3.1本次招标要求投标人为独立法人单位：（略）
3.2投标人为企业单位：（略）
上述财务会计报表至少应包括资产负债表、现金流量表、利润表和财务情况说明书的复印件，缺一不可。成立不足一年的应提供成立以来的财务状况表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位：（略）
3.3业绩要求：（略）、投标人自2021年1月1日至投标截止日期间，具有本次招标设备相同或类似的业绩不少于2个；
1个业绩指1份合同，需提供附有技术条款或技术协议的合同复印件等证明材料。合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订时间、标的物名称：（略）
3.4信誉要求：投标人未被最高人民法院列入失信被执行人名单，提供信用中国（https://（略）.cn）/（略）(（略）.cn/)查询结果。投标人为科研院所、高等院校等事业单位：（略）
3.5其他要求:（1）本次招标不接受代理商投标。
（2）本次招标不接受联合体投标。
（3）投标人对其提供的文件资料真实性负责。即使投标人提交的文件资料通过了审核，在评标过程中乃至定标后，如发现投标人所提供的文件资料不合法或不真实，则其投标将作为废标处理，并承担相应法律责任。
（4）投标人对响应条款应承担履约责任，若签约后无法履约，将纳入中国电科供应商负面清单，并追究其违约责任。
3.6未在招标代理：（略）
4.招标文件的获取：（略）
4.1从2024年7月16日开始至2024年7月23日，每天9:00～11:00、13:30～17:00发售招标文件，文件发售方式：（略）
。
5.投标文件的递交5.1投标文件递交的截止时间：2024年8月7日9时30分；
5.2响应文件递交地点：（略）
5.3
逾期送达的、未送达指定地点：（略）
6.（略）（（略））、（略）（（略））上发布。
7.联系方式：（略）
招标人：（略）
（略）@（略）
账户名称：（略）
中国工商银行北京海淀支行营业部
附件：
各潜在供应商：特别告知
有意参加招标采购活动的单位：（略）
（1）注册：（略）（（略）.cn；下简称“（略）”）（略）网站主页点击【供应商入口】进行免费注册。（注册步骤：【供应商入口】-【立即注册】-填写信息-
完成注册，具体操作步骤详见【立即注册】页面《（略）快速注册指引》）。潜在供应商只需注册一次，不同的经办人可建立多个账户。（略）负责对潜在供应商注册信息与其提供的信息进行一致性检查。
（2）购买招标文件：经办人凭获得的用户名、（略），点击【寻找商机】进行项目名称：（略）
（3）支付方式：（略）
（略）下载招标文件，（略）银支付招标文件下载服务费，收费标准为每套人民币200元，（略）出具增值税电子普通发票，文件购买人可登录“（略）”自行下载增值税电子普通发票。
文件款、平台交易服务费一经收取不予退还。
（4）技术支持：（略）统一服务热线（略），（略）进行咨询。
（5）免责声明：“（略）”（网址：（略）.cn）为本项目缴纳标书费的唯一渠道，（略）的支付均属无效
八、监督部门
（略）第九研究所。
九、联系方式：（略）
招标人：（略）
联系人：（略）