山东有研艾斯半导体材料有限公司北京研发中心 实验室升级改造项目竣工环境保护验收监测报告竣工环境保护验收公示

根据《国务院关于修改〈建设项目环境保护管理条例〉的决定》（国务院令第682号），以及环境保护部关于发布《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》的公告(国环规环评〔2017〕4号)，现将《（略）实验室升级改造项目竣工环境保护验收监测报告》公示如下：
项目基本情况：本项目位（略），在原有研发工序的基础上进行技术改造，新增碱洗工序，包括新增腐蚀后碱洗、抛光后碱洗和精抛光后碱洗等3道碱洗工序，分别利用原有的硅密清洗机、APS中间清洗机和最终清洗机进行，不新增生产设备；新增设备主要为碱洗过程增加的真空泵和碱洗废气处理设施酸洗塔。项目建成后全厂研发规模不变，仍为研发12（略）用大硅片12万片/a。
公示内容：验收监测报告
公示时间：（略）~（略）（20个工作日）
（略）
2024年7月18日
附件：
专家验收意见.pdf
（略）实验室升级改造项目竣工环境保护验收监测报告.pdf