北京量子信息科学研究院科研仪器设备器件结构调整系统单一来源采购公示

一、项目信息
采购人：（略）
项目名称：（略）
拟采购的货物或者服务的说明：
（略）1套
拟采购的货物或服务的预算金额：280.000000万元（人民币）
采用单一来源采购方式：（略）
（略）-LTF团队本次拟采购的1（略）用于在量子芯片制备工艺中，需要去除器件中二氧化硅牺牲层来释放微结构，使器件处于悬空状态。（略）以气相氟化氢为刻蚀气体，释放速率≥0.1um/min，选择比SiO2:Al>300:1，刻蚀片内均匀性波动≤5%（1σ），片间重复性波动≤5%（1σ），样片工作台温度可控范围为5℃至45℃，可配置非分散式红外分析气体传感器进行终点监控能力，可兼容最大直径200mm圆片和小片。
经全球调研，采用气相氟化氢刻蚀气体，来实现去除器件中二氧（略），（略）和美国SPTS（略）能生产满足需求的成熟的设备，但由于美国厂家SPTS公司的设备没有配置刻蚀终点监控装置，且出口受美国政府管控，厂家无法供货给量子院。（略）的设备拥有自主知识产权，对硅衬底，金属以及低应力氮化硅等都有非常好的选择性，此外，该系统配置刻蚀终检监控装置，可准确控制释放工艺终点，且能正常供货。
综上所述，（略）是市场上唯一能生产出以实现氟化氢气相、高选择比释放二氧化硅牺牲层的厂家。东方诺达（北京）（略）是厂家授权在大陆唯一代理供货商，因此申请单一来源方式：（略）
二、拟定供应商信息
名称：（略）
地址：（略）
三、公示期限
2024年07月18日至2024年07月25日
四、其他补充事宜：
专家论证意见及专家姓名、工作单位：（略）
（略）原因，其他未尽事宜及公告显示内容与附件不同的，以附件为准。
（略）发布。
五、联系方式：（略）
1.采购人：（略）
联系人：（略）
地址：（略）
联系方式：（略）
2.财政部门
联系人：（略）
联系地址：（略）
联系电话：（略）
3.采购代理机构：（略）
名称：（略）
地址：（略）
联系方式：（略）
公告概要：公告信息：
采购项目名称：（略）
品目货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表
采购单位：（略）
（略）域（略）公告时间2024年07月18日15:49
预算金额￥280.000000万元（人民币）
联系人：（略）
项目联系人：（略）
项目联系电话：（略）
采购单位：（略）
采购单位：（略）
采购单位：（略）
（略）
（略）20层
代理机构：（略）
附件：
附件1（略）-单一来源论证.pdf
附件2OITC-G（略）（略）单一来源公示.pdf
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