上海交通大学薄膜等离子快速消除机国际招标公告（1）

（略）产品名称：（略）
1薄膜等离子快速消除机1晶圆承载台下电极尺寸不小于240mm，带背氦冷却；温控范围超低温-150°C~400°C高温段兼容，并配置ACU(自动温控切换单元），电极适用于300WRFBias功率
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1)投标人在中华人民共和国境内外注册且具有独立的法人资格，能提供上述产品及相应服务的代理商或生产厂家；2)必须提供所投产品的生产商针对本次招标项目出具的独家授权书；3)具有招标文件中所需设备的供货和售后服务的能力；4）参加本次招标活动前3年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无行贿犯罪记录；是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取：（略）