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2吋靶材4吋样品PVD薄膜设备采购项目（重新招标）国际招标公告（2）
所属地区：浙江 - 杭州 发布日期：2024-07-26| 所属地区： | 浙江 - 杭州 | 招标业主： | 略 登录查看 | 信息类型： | 招标公告 |
| 更新时间： | 2024/07/26 | 招标代理： | 略 登录查看 | 截止时间： | 略 登录查看 |
咨询该项目请拨打：187-8889-8240
（略）受招标人：（略）
12吋靶材4吋样品PVD薄膜设备11、设备含1个薄膜生长真空腔室#1（腔室#1）、1个薄膜生长真空腔室#2（腔室#2）和1个预真空室（Load-Lock）。2、腔室#1和腔室#2分别配备不少于9支和4支靶枪。3、腔室#1和腔室#2的极限真空优于或等于9×10-9Torr。
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:详见招标文件是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取：（略）
12吋靶材4吋样品PVD薄膜设备11、设备含1个薄膜生长真空腔室#1（腔室#1）、1个薄膜生长真空腔室#2（腔室#2）和1个预真空室（Load-Lock）。2、腔室#1和腔室#2分别配备不少于9支和4支靶枪。3、腔室#1和腔室#2的极限真空优于或等于9×10-9Torr。
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:详见招标文件是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取：（略）
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