侧墙刻蚀机-公开招标公告

招标公告1.（略）第二十四研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对侧墙刻蚀机进行国内公开招标。
2.项目概况与招标范围2.1（略）：ZKX（略）A049
2.2招标项目名称：（略）
2.3数量：1台。
2.4主要功能要求：半导体制造工艺中，侧墙刻蚀是形成LDD结构必不可少的一个环节。侧墙结构一般为OX或者OX与SiN的复合膜结构，为介质刻蚀工艺，侧墙刻蚀机除了完成侧墙刻蚀工艺以外，还可以用来进行通孔刻蚀，是半导体制造中必不可少的工序。本项目采购的侧墙刻蚀机为8英寸全新国产设备、具备扩展SMIF和EAP通讯功能。
2.5交货地点：（略）
2.6交货期：合同生效后7个月内。
3.投标人资格要求3.1投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照。
3.2业绩要求：（略）或同系列的设备从2020年至今的任意一年的销售业绩，且一年中累计销售量至少5台；须提供设备采购合同复印件，其内容须体现合同首页及签字或盖章页、合同签订时间、（略）。
3.3其它要求：本次招标不接受代理商投标。
3.4本次招标不接受联合体投标。
3.5投标人必须向招标代理：（略）
4.招标文件的获取：（略）
4.2招标文件每套售价800元（（略）下载标书款电子发票），售后不退。
5.投标文件的递交5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2024年09月03日9时30分，地点：（略）
5.2逾期送达的、未送达指定地点：（略）
6.（略）上发布。
7.联系方式：（略）
地址：（略）
联系人：（略）
电话：（略）




招标代理：（略）
地址：（略）
售卖联系人：（略）
电话：（略）
项目负责人：唐玲
电子邮件：（略）@zonkex.com
（略）（略）67241