华南师范大学2024年08月至2024年09月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位：（略）
（略）采购项目名称：（略）
1（略）项目标的名称：（略）
标的数量：1
主要功能或目标：（略）、教育部基础学科拔尖学生培养计划2.（略）建设需求。该设备在高真空状态下由电阻丝加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜，是半导体微纳加工设备之一。
需满足的要求：1.优质SUS304不锈钢材料的主腔体和过渡腔体。2.进口分子泵(抽速不小于300L/s)和进口涡旋干泵(抽速不小于4.1L/s)，本底真空优于2x10-7mbar（烘烤除气后）。3.进口气动插板阀。4.最大样品4英寸，加热温度500°C。5.4组舟式蒸发源，最高加热温度：1200°C。6.配置膜厚控制仪。7.电脑界面操作，程序智能控制，自动参数记录。实现一人一账户的权限管理。
按规定落实600,000.002024年09月
本次公开的采购意向是本单位：（略）
华南师范大学
2024年08月18日