华南师范大学2024年08月至2024年10月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位：（略）
（略）采购项目名称：（略）
1华南师范大学华南先进光电子研究院采购SiNx/SiOx（略）（PECVD）项目标的名称：（略）
标的数量：1
主要功能或目标：兼容纳米级薄膜的均匀沉积或纳米结构表面修饰和洁净真空环境下进行氮化硅和氧化硅的薄膜生长，并且可以膜厚具有很好的均一性和可控性。
需满足的要求：1、样片≥12inch，支持SiH4（SiO2、SiNx、SiON、a-Si）和TEOS（SiO2）沉积；2、高频（≥10MHz）电源的高密度等离子体工艺；3、RT～350℃±5℃沉积加热；4、片内和片间均匀性≤±3%；5、粗糙度≤2nm；7、基底温度RT-400℃±1℃；8、2路常温源，4路加热源，RT～200℃±1℃;9、每路前驱体配置专用高速高温ALD阀。
按规定落实3,000,000.002024年10月
本次公开的采购意向是本单位：（略）
华南师范大学
2024年08月22日