华南师范大学2024年08月至2024年11月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位：（略）
（略）采购项目名称：（略）
1湖南师（略）项目标的名称：（略）
标的数量：1
主要功能或目标：（略）（L-MBE）是一种新型的薄膜制备技术，通过控制薄膜制备过程中的工艺条件，能够制备高性能半导体材料和开发新材料，用于生长各种纳米尺度的单层膜或多层膜，制备单晶或多晶化合物、半导体等薄膜或超薄膜样品。
需满足的要求：至少两个真空腔体，进样室极限真空≤5×10-5Pa，生长室充分烘烤后背底真空优于1E-10mbar，衬底尺寸为2-3英寸，（略）的可调范围RT～1100℃，控温精度±0.5℃；样品台可连续回转，配单独挡板；生长腔体可进行200℃烘烤；6个蒸发束源炉，温控精度±0.5°C，单独挡板；气体等离子体源；配备薄膜原位生长监测；（略）控制软件和工艺控制软件，含配套PC及硬件；有薄膜厚度监控。
按规定落实3,888,700.002024年11月
本次公开的采购意向是本单位：（略）
华南师范大学
2024年08月22日