深圳大学Si抛光及清洗系统意向公开

采购单位：（略）
项目名称：（略）
预算金额（元）:4,850,000.000
采购品目:电子工业生产设备
采购需求概况:利用抛光液和抛光垫对硅/二氧化硅表面进行机械化学抛光，去除表面不平整和损伤层，为后续工艺步骤如光刻、刻蚀等提供高质量衬底。通过精确的抛光液供给，实现抛光过程精确控制，确保一致性和稳定性；合适的抛光垫材质和驱动参数可显著提高抛光效率和抛光质量，减少划痕和损伤。实现深度清洗，去除微小污垢和残留物，同时保持平整度和光洁度。通过纯水漂洗，确保清洁度达到工艺要求，避免后续工艺的交叉污染。需满足高质量抛光及清洗功能，满足安全操作和智能使用，保证1年免费质保服务。
联系人：（略）
联系电话：（略）
预计采购时间:2024-09
备注:无
本次公开的采购意向是本单位：（略）
（略）址：（略）-01f8-4502-9ec2-14a42b018d84.html