真空内光学元件姿态调节及运动机构系统

|项目概况采购类型采购
（略）中大招（货）[2024]097号
项目名称：（略）
（略）
项目类型货物采购项目预算***
最高限价（元）920,000.00
报名及响应开始时间（略）:56报名及响应结束时间（略）:00
采购单位：（略）
经办人王老师经办人电话（略）
期望收货时间合同签订后75天交货
是否送货是送货地址：（略）
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。3、本项目学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（（略）.cn/article/4902）提前办理CA证书。5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。
|采购明细1（略）
数量1套
参考品牌
（略）（略）条款是否需要附件说明
1模块化的（略），用于实现真空内多个光学元件姿态的高精度调节及反馈控制。该系统需要承载并调节的光学元件包括：1个光阑、1个聚焦波带片、1个EUV掩模样品、1个成像波带片。（略）图见物资附件说明文件。重要否是
2用于光阑和照明波带片的位置精密调整，由2套X/Y二维平动调整机构和1个Z轴升降机构组成。重要否是
3（1）X/Y（略）运动行程≥16mm；最小步长≤5nm。（2）Z升降台行程≥10mm。（3）重复定位精度≤±5nm。重要否是
4（4）最大负载≥0.5kg。（5）满足100℃烘烤要求，能在5×10^-8mbar的真空条件下使用。（6）X/Y（略）外形尺寸：≤52×52×23mm。（7）Z升降台外形尺寸：≤52×52×38mm。重要否否
5用于调节成像波带片的姿态，同时实现在EUV光路扫描过程中保持成像波带片与EUV掩模的相对位置稳定。包括1套X/Y/Z三维平动调整机构，1套X/Y/Z压电扫描台，1路单探头电容式微位移传感器，X/Y方向2（略）等。重要否否
6（1）X/Y平台运动行程≥16mm，最小步长≤5nm。（2）Z轴升降行程≥10mm，最小步长≤5nm。（3）X/Y/Z平台运动重复定位精度≤±5nm。重要否是
7（4）最大负载≥0.5kg。（5）X/Y/Z（略）外形：≤52×52×60mm。重要否否
8★用于稳定保持成像波带片和EUV掩模相对位置，能够和干涉仪以及电容传感器同时闭环控制，最小调节精度≤（略）@10Hz。具体指标包括：（1）最大载荷≥500g。（2）X/Y/Z运动行程≥100um。（3）X/Y/Z运动的重复精度≤（略）@10Hz。（4）X/Y/Z空载带宽：≥100Hz。（5）X/Y/Z（略）外形尺寸：≤540×40×42mm。（略）性能证明文件。重要是是
91路单探头电容式微位移传感器，测量范围≥200um，测量精度≤（略）@10Hz。重要否是
10★X/Y方向2（略），包含2路光纤激光干涉仪探头，（略）返回用的角锥棱镜及其调整支架，干涉仪波长1530nm，重复精度≤（略）@10Hz。空载谐振带宽大于100HZ，工作调节距离100µm。重要是是
11满足100℃烘烤要求，能在5×10^-8mbar的真空条件下使用。重要否否
12用于EUV掩模的5个自由度的位置与姿态调节，包括1套X/Y二维平动调整机构和1套并联纳米位移台实现θX/θY和Z方向的调整，以及1个EUV光电二极管探测器用于光通量测量。重要否是
13▲X/Y二维平动调整机构：X平台运动范围≥16mm；Y平台运动范围≥50mm；X/Y平台运动重复定位精度≤±5nm，最小步长≤5nm，最大负载≥1kg。非常重要否是
14并联纳米位移台实现θX/θY和Z方向的调整；调整范围±3°，调整精度≤0.001°。Z轴升降范围≥4mm，重复定位精度≤±5nm，最小步长≤5nm，最大负载≥0.4kg。重要否是
15EUV光电二极管，光响应优于0.2A/W@13.5nm，有效面积优于20mm2。重要否是
16（1）满足100℃烘烤要求，能在5×10-8mbar的真空条件下使用。（2）X/Y（略）外形尺寸：≤82×75×28mm。（3）（略）外形：上平台直径≤100mm，下基座直径≤140mm，高下直径≤65mm。重要否否
17（1）要求材质为低热胀系数的4J32合金、高刚度、安装接触面粗糙度低、平面度好。（2）平台尺寸≥100mm×140mm×20mm。重要否否
18用于光阑、照明波带片、掩模样品及成像波带片的承载和保护，模块化设计可更换。提供支架设计图和与光学元件的连接方案。重要否是
19（1）实现各个运动机构单元的运动控制。（2）实现激光干涉仪和电容传感器的同时闭环，对外部实现干扰抑制功能。（3）压电扫描控制器，（略）的频率和相位特性。重要否是
20（1）处理器：性能不低于锐龙R7-8845；（2）显卡：性能不低于Radeon780M；（3）内存：不低于（略）@32G（4）显示器：不低于3000*（略）@120Hz重要否否
211、各组件的运动控制器2、所有连接线缆至少3米以上，满足现场安装条件。3、真空馈通法兰CF63（DB15*3）5个、CF35DB152个、CF35DB92个光光纤馈通法兰CF352路1个。重要否是
221、提供API接口、支持软件二次开发。2、附带控制电脑1台、（略）控制软件1套。重要否是
231、EUV（略）调节机构：定制产品1套；2、EUV（略）调节机构：定制产品1套；3、EUV掩模位置与姿态调节机构：定制产品1套；4、（略）安装基板：定制产品1套；5、光学元件支架，包括光阑支架、照明波带片支架、掩模样品支架及成像波带片支架：定制产品1套；6、（略）（API、控制电脑、附带软件、API开发）：定制产品1套。重要否是
|（略）要求名称：（略）
1第1条资质参数符合性参数上传营业执照(副本原件扫描件)是
2第2条资质参数符合性参数填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）是
3第3条资质参数符合性参数填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）是
4第4条资质参数符合性参数填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）是
|（略）要求名称：（略）
1合同履约该项目必须严格按学校合同范本执行下载地址：（略）
2售后和培训免费保修时间：按照国家《质量法》负责产品质量，完全按照国家技术标准及采购方的要求制造，质保期为验收合格之后的5年。质保期内因乙方产品质量出现问题，非人为损坏情况下，由乙方实行免费包修、包换。保修范围：长期维护，实行不定期巡检，有偿终身维修服务。售后服务要求：产品出现故障24小时内到达甲方或甲方指定现场解决（技术支持、维修换货服务），未按规定的时间到达现场，乙方未在指定期限内到达现场，甲方有权自行委托第三方予以处置相应费用由乙方承担。培训要求：交付前要进行2天的用户使用培训。是
3免费保修年限5年6年7年8年及以上是
4产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式：（略）
5投标人业绩（提供与用户签订的有效合同关键页扫描件，未提供或无法判断的不得分）（略）或同类设备的产品销售经验具有1（略）或同类设备的产品销售经验具有2（略）或同类设备的产品销售经验是