北京量子信息科学研究院科研仪器设备电子束曝光机单一来源采购公示

一、项目信息
采购人：（略）
项目名称：（略）
拟采购的货物或者服务的说明：
电子束曝光机1套
拟采购的货物或服务的预算金额：1150.000000万元（人民币）
采用单一来源采购方式：（略）
电子束曝光是微纳米加工的核心技术，电子束曝光机在量子器件的加工过程中是不可或缺的关键设备。无论是超导量子计算还是拓扑量子计算或者二维材料新奇量子特性的研究都离不开微纳米尺度的加工，从而获得微纳米的尺度进行量子特性的研究。基于目前纳米器件精密加工迫切需求，实现100nm线宽，拼接精度、套刻精度~50nm的图形加工,本次拟采购的1套电子東曝光机须满足以下参数要求：1.拼接精度：500μm写场下，≤50nm,1000μm写场下，≤100nm;2.套刻精度：500μm写场下，≤40nm,1000μm写场下，≤80nm;3.图像发生器扫描频率不低于50MHz;4.加速电压不低于50kV;5.最小线宽＜50nm;6.配备激光干涉工作台，激光干涉仪测量分辨率不大于1nm。根据全球调研，能满足上述需求且愿意供货同时也没有受到禁运制约的厂家只有德国的Raith。锐时科技（北京）（略）是厂家Raith（略），且是国内唯一销售渠道。因此申请单一来源采购。综上，特申请单一来源采购方式：（略）
二、拟定供应商信息
名称：（略）
地址：（略）
三、公示期限
2024年09月12日至2024年09月20日
四、其他补充事宜：
1.专家论证意见及专家姓名、工作单位：（略）
五、联系方式：（略）
1.采购人：（略）
联系人：（略）
地址：（略）
联系方式：（略）
2.财政部门
联系人：（略）
联系地址：（略）
联系电话：（略）
3.采购代理机构：（略）
名称：（略）
地址：（略）
联系方式：（略）
2.3单一来源采购方式：（略）
102科研仪器设备电子束曝光机--单一来源采购公示（略）