政府采购意向公告
华南理工大学2024年11月采购意向项目-电子束曝光机(650万)政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将华南理工大学2024年11月采购意向项目-电子束曝光机(650万)采购意向公开如下:
(略)采购项目名称:
(略)
1电子束曝光机A
(略)电子工业生产设备采购电子束曝光机1台,实现最小线宽20nm的线
(略)温度波动±0.5℃情况下,8小时内束流稳定性≤0.5%;6.束斑位置稳定性:每小时≤150nm;7.图形发生器扫描频率:不小于20MHz;8.写场尺寸:10μm~500μm可调节;9.最小线宽:≤20nm;10.拼接精度:
(略)-11
≤
(略)@100μm写场;11.套刻精度:≤
(略)@100μm写场;12.工件台行程:X方向0~100mm、Y方向0~100mm;13.最大可加工样品尺寸:4寸;同时提供不同规格小样品的夹具;14.配置激光干涉仪、
(略)、
(略),进样的时间≤10分钟;15.配置分辨率≤50ns的超快脉冲控制模块和闭环分辨率≤5nm的纳米位移台;16.配置UPS电源;17.配置1Hz以上振动频率的主动-被动集成式减振装置;
本次公开的采购意向是本单位:
(略)
华南理工大学
(略)
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